第2268章
国家超导约束聚能研究所。
光源实验室。
距上次EUV光源功率实现35W稳定输出功率后,后续的各项验证性实验,也是进展颇为顺利。
不过,李阳明白。
要想搞出最先进的光刻机,且满足以后更多的研究,单单是这个成绩,还是远远不够的。
所以,在确定35W的输出功率没有任何问题后,他便组织团队的成员,继续开展功率提升任务。
此刻。
实验室里,各项任务正如火如荼的进行着。
研究员们一边紧张的进行实验,一边实时汇报情况。
“报告!功率提升至36W,束流散射角超标!”
“37W!散射角持续扩大,聚焦稳定性骤降!”
“不行,38W无法维持,束形完全发散!”
随着功率的提升,实验开始失控,研究员的声音,多了一抹紧张与不安。
而此时,屏幕上代表粒子束流的红色光点原本凝聚如针,此刻却像被无形之手揉碎,扩散成模糊的光斑。
“将数据投屏到大屏幕。”