皇天不负有心人,他终于在昨晚的时候,得到了一些好消息。
怕太晚打扰到李阳,所以今天才打来电话。
“何部长,是的。”
李阳简要汇报了第二次测试的结果。
“EUV光源功率35W稳定输出,对主堆功率损耗控制在1.5%以内,技术路径已基本打通,集成到光刻机的技术障碍大幅降低。”
“太好了!”
何天明的语气难掩激动。
“35W!损耗1.5%!这比预想的最好情况还要好!”
“李工,你们又立了大功!光刻机的心脏问题,看来已经被你们成功攻克了!”
突然,他话锋一转,语气变得极其郑重。
“我立刻协调,后续光刻机整机的集成工作,所有资源、政策通道,全力向你们倾斜!”
“你们需要什么,直接列清单,我亲自督办!”
“全国相关院所、企业,无条件优先保障‘破壁’
项目!”
“感谢何部长,我们定当全力以赴。”
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