巨大的压力瞬间消散,实验室里响起一片压抑后的欢呼声。
“太好了,终于成功了!”
“李工牛逼。”
“还以为又要以失败告终了,没想到啊,最后李工竟然挽狂澜于既倒!”
“还得是李工啊!”
“......”
研究员们的激动,溢于言表。
第二次测试的结果,出奇之好。
石墨烯涂层的电磁屏蔽效果和优化后的粒子注入参数完美匹配,将干扰降到了最低限度,代价从5%锐减到可忽略的1.2%,而EUV光源功率反而提升到了35W!
李阳脸上充满了笑容,但也只是持续了片刻。
他对这个结果很满意,当然也在预料之中。
只是,单单做到这一步,还远远不够。
他要的,是独立自主的造出光刻机!
他立刻吩咐道。
“钱教授,立刻组织人手,全面分析第二次测试的所有数据,特别是粒子束流的精准控制参数、辐射强度分布以及磁场同步性......”
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