龙国。

破壁专项指挥部。

李阳坐镇指挥部第一负责人的位置,同样面临艰巨的挑战。

全国顶尖的力量被动员起来,攻关EUV光刻机的核心子系统。

然而!

在光源这一最关键的部分,团队遇到了硬骨头。

采用主流激光等离子体(LPP)方案的实验小组遇到了大麻烦。

他们无法在提升激光功率以达到EUV生成阈值的同时,保证光学元件的使用寿命和等离子体靶材的稳定性。

几次实验下来,昂贵的镜片被烧蚀,产生的EUV光功率也极不稳定,远达不到要求。

“李工,ASML的路线,我们短时间内恐怕很难完全复制。”

“他们的技术积累太深了,特别是那个锡滴靶材的产生和激光轰击的同步控制,精度要求变态的高。”

光源小组的负责人语气沉重地向李阳汇报,脸色有些颓然。

原本以为,在李阳的带领下,凭借着他们自身丰富的经验,这项技术可以轻松突破。

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